气体名称 |
规格 |
主要用途 |
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气体纯度% |
气体装量 |
钢瓶体积/L |
阀门型号 |
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氮 |
N6.0 |
13MPa |
40 |
G5/8 |
在电子工业中氮气是半导体集成电路生产工艺不可缺少的保护气、载气。 |
N6.0 |
13MPa |
40 |
CGA580 |
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N6.0 |
13MPa |
40 |
CGA540 |
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